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F型涡轮分子泵
  • 用途及特点
  • 规格参数
    产品用途:Product Applications

    ●涡轮分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接对大气排气,需要配置前级泵。

    主要应用领域:Main applications:

    ●表面物理和分析仪器
    ●等离子体物理,空间研究
    ●核聚变装置
    ●原子束分子束系统,粒子加速器
    ●真空镀膜
    ●真空冶炼
    ●半导体和光学器件制造

    产品特点:Product Features

    ●体积小,安装和使用方便
    ●理想的动平衡,震动和噪音小
    ●压力在10-1~10-8pa范围内有恒定的抽速
    ●陶瓷轴承使用寿命长
    F型涡轮分子泵
    Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
    技术参数Technical specifications:
    型号
    Model
    FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
    进气口法兰
    Inlet flange  (mm)
    DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
    出气口法兰
    Oulet flange  (mm)
    DN40KF DN63LF DN100LF
    抽气速度
    Pumping speed  (L/S)
    450 1400 3500
    极限压力
    Ultimate pressure
    不烘烤
    Without baking  (Pa)
    6×10-6 6×10-6 6×10-6
    压缩比
    Compression ratio
    对N2 108 108 108
    对H2 102 102 102
    转速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
    起动时间
    Start-up time <(Min)
    5 10 20
    前级压力
    Fore pressure <(Pa)
    10 10 10
    建议采用的前级泵
    Recommended backing pump  (L/s)
    8 15 30
    冷却水温度
    Cooling water temperature <(℃)
    ≤25 ≤25 ≤25
    冷却水压力
    Cooling water pressure (Mpa)
    0.196 0.196 0.196
    泵体烘烤温度
    Temperature of baking <(℃)
    120 120 120
    重量
    Weight(Kg)
    35 70 125